Cuscinetti di precisione, corone girevoli e guide lineari per la tecnologia dei semiconduttori e l'automazione delle camere bianche

Precisione e affidabilità

Nella tecnologia dei semiconduttori, la precisione, l’idoneità all’uso in camera bianca e l’affidabilità dei processi sono determinanti per la qualità del prodotto e la redditività. Che si tratti di movimentazione dei wafer, litografia, sistemi di ispezione o automazione in camera bianca, i moderni impianti per la produzione di chip impongono requisiti estremamente elevati a ogni singolo componente.

Franke supporta gli OEM e i costruttori di impianti con soluzioni innovative Cuscinetti in elementi, Cuscinetti montati e guide lineari, sviluppati appositamente per compiti di movimento ad alta precisione. Grazie alla loro struttura compatta, al peso ridotto e all’elevata capacità di integrazione, contribuiscono a rendere le macchine più performanti, efficienti ed economiche.

Tecnologia dei semiconduttori e produzione di chip

La produzione di semiconduttori moderni richiede la massima stabilità di processo a livello microscopico. Allo stesso tempo, i requisiti in termini di dinamica, automazione ed efficienza economica sono in costante aumento. I progettisti e i produttori di impianti si trovano quindi ad affrontare la sfida di realizzare movimenti di alta precisione in modo sicuro e riproducibile in condizioni ambientali complesse.

Requisiti relativi alle camere bianche e alla contaminazione
Anche le particelle più piccole possono compromettere la qualità dei processi di produzione sensibili. I componenti devono quindi essere adatti all’uso in camera bianca, presentare basse emissioni e contribuire a prevenire la contaminazione.
Massima precisione e ripetibilità
Nei sistemi di movimentazione dei wafer, negli impianti di ispezione o nei sistemi litografici, il posizionamento esatto è fondamentale. Sono richiesti scostamenti di concentricità minimi, massima ripetibilità e movimenti stabili nel tempo.
Movimenti dinamici e tempi di ciclo brevi
I moderni impianti di produzione devono raggiungere elevate produttività. Ciò richiede velocità elevate, forti accelerazioni e, al contempo, movimenti precisi e controllati.
Spazio di installazione limitato
L’integrazione di funzioni aggiuntive in progetti di macchine sempre più compatte pone requisiti elevati alla progettazione e ai componenti. Le soluzioni salvaspazio diventano un vantaggio competitivo decisivo.
Massima affidabilità
I fermi macchina nella produzione di chip comportano costi elevati. I componenti devono funzionare in modo affidabile nel tempo, ridurre al minimo gli interventi di manutenzione e garantire la massima disponibilità dell’impianto.
Efficienza economica per l’intero ciclo di vita
Oltre alle prestazioni tecniche, assumono sempre maggiore importanza la riduzione del peso, la semplificazione delle strutture e un basso costo totale di proprietà (TCO).

Le nostre soluzioni per l'industria dei semiconduttori

Cuscinetti in elementi Franke per operazioni di movimento ad alta precisione

Cuscinetti in elementi Franke coniugano la leggerezza con un’elevata resistenza al carico e una straordinaria libertà progettuale. Grazie al collaudato principio Franke, le guide di scorrimento sono realizzate indipendentemente dall’alloggiamento, consentendo così geometrie personalizzate e integrazioni su misura per il cliente.

I vantaggi per voi

Elevata precisione nei movimenti rotativi
Masse in movimento ridotte
Dinamica ed efficienza energetica ottimizzate
Progetti di macchine compatte
Adattamento personalizzato alle applicazioni in camera bianca e nel settore dei semiconduttori

Guide lineari Franke per operazioni di posizionamento dinamico

Le guide lineari Franke consentono movimenti lineari precisi, combinando al contempo un’elevata dinamica e una lunga durata. Sono adatte a numerose applicazioni nel settore della tecnologia dei semiconduttori e dell’automazione delle camere bianche.

I vantaggi per voi

Posizionamento preciso di wafer e componenti
Elevate accelerazioni
Tempi di ciclo brevi
Versioni personalizzate
Adattamento a condizioni ambientali specifiche

Cuscinetti assemblati Franke per grandi diametri ad alta precisione

Nei sistemi di ispezione, negli impianti di movimentazione dei wafer o nelle soluzioni robotiche, i giunti rotanti Franke consentono movimenti rotatori di alta precisione anche con diametri di grandi dimensioni.

I vantaggi per voi

Elevata precisione di concentricità
Ampio spazio centrale per il passaggio di cavi, fluidi e linee di processo
Peso ridotto nonostante le grandi dimensioni
Integrazione di sottogruppi complessi
Requisiti ottimali per le moderne architetture di impianto

Libertà progettuale per concetti di macchine innovativi

Grazie a soluzioni in alluminio, geometrie personalizzate e ampie possibilità di integrazione, Franke supporta i progettisti nella realizzazione di concetti di macchine innovativi.

Vantaggi per sviluppatori e progettisti

Integrazione delle funzioni anziché moduli aggiuntivi
Riduzione del numero di componenti
Progetti semplificati
Maggiore efficienza energetica
Progetti personalizzati per applicazioni complesse

I nostri vantaggi per l'industria dei semiconduttori

Particolarmente adatto per applicazioni esigenti nella tecnologia dei semiconduttori
Alta precisione e ripetibilità
Soluzioni conformi alle camere bianche
Peso ridotto con elevata capacità di carico
Design compatto per impianti ad alta densità
Alta dinamica e tempi di ciclo brevi
Adattamento individuale all'applicazione specifica
Ampia libertà progettuale grazie alla tecnologia a cuscinetti a sfere
Integrazione di funzioni e componenti aggiuntivi
Riduzione di peso, ingombro e consumo energetico
Alta affidabilità e disponibilità
Supporto nella riduzione del Total Cost of Ownership